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| Filmes magnéticos rígidos à base de cobalto |
Este relatório analisa a literatura sobre o procedimento operacional e as propriedades magnéticas de filmes magnéticos baseados em Co depositados eletroquímicos. O significado e as limitações dos filmes magnéticos à base de depósito eletroquímico são analisados.
”Os materiais magnéticos duros têm sido foco de interesse na engenharia elétrica há anos, devido a suas aplicações como mídia na gravação e possíveis aplicações na fabricação de dispositivos MEMS magnéticos devido ao forte campo magnético produzido por eles na ausência de aplicação do campo magnético 1.2. Além dos ferritos duros e dos ímãs à base de Nd2Fe14 B1, o cobalto ou o cobalto-RE são principalmente materiais magnéticos duros, devido às suas boas propriedades magnéticas e às excelentes propriedades mecânicas 1. De um modo geral, os materiais magnéticos duros à base de cobalto são fabricados por métodos PVD, como sputtering ou evaporação por RF. No entanto, é provável que consuma tempo e dinheiro para aplicar esses procedimentos, especialmente para um filme relativamente espesso, digamos, 20 mm ou mais.
Além disso, a fabricação de ímãs do tipo filme em pastilhas de silício com circuitos integrados CMOS foi considerada uma das tarefas mais extremamente difíceis devido à incompatibilidade do processamento da fabricação entre eles”.
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